红外测温仪在真空设备中的解决方案

真空设备采用感应加热，真空密闭环境，外面有石英玻璃观察窗。一般地，在感应加热的系统中，很难实现通常的热电偶测温。在该环境下，利用红外测温仪进行温度监控是最有效的办法，红外测温仪在测真空温度时候，它的探头必须在正常室温下工作，因此需要通过玻璃观察窗测量，对于所使用的红外测温仪一般长波段（8-14微米）的红外测温仪，是无法使用的，因为该波段的红外线无法穿透玻璃被测温仪接受到。故我们采用了1微米波长的固定安装式红外测温仪DE。该红外测温仪具有目视同轴瞄准，比较容易对准小目标。可调整焦距，带有高亮度显示窗。该红外测温仪为双色DE双色红外测温仪在有较强的烟雾，灰尘或者其他目标被部分阻挡的情况下，仍然可以探测到内部目标的真实温度。

比色测温仪技术参数：

可实现600～3000℃的温度测量

单色/双色工作模式可选

双色测温，不受环境因素影响，测量结果更精准

距离系数比高达280：1

可测最小目标2mm

焦距可调的光学系统

目视瞄准或激光瞄准可选

斜率补偿：0.1～1.15可调（双色）

0.1～1.00可调（单色）

响应速度快，灵敏度高

高亮四位LED显示，当前值测量显示

测量温度范围：

0000   600-1400℃

0000   800-1800℃

00000   1000-3000℃    

响应波长：0.8-1.1μm / 0.4-1.1μm

测量精度：0.75%FS

重复精度：0.2%

分 辨 率：0.5℃

斜率补偿：0.1～1.15可调（双色）

0.1～1.00可调（单色）

响应时间：<15ms

透镜类型：双胶合透镜

探 测 器：Si-Si

测量距离：0.56 ～ ∞

距离系数：280:1

最小测量目标：2mm

我们选用测温范围600-1400或者800－1800度的红外测温仪作为温度测量传感部分。该红外测温仪输出信号为4-20mA，输出至温度控制器。温度控制器选用DE。此温度控制器响应时间为0.2秒，带有25条曲线编程和多种PID算法。可以实现基本显示以及客户对电源的工艺控制。

红外测温仪需要准确固定在安装位置，瞄准到被测物体。并正确地设置好发射率参数。由于感应加热的时候，会在电源线上，甚至在信号线上产生干扰，因此在选择红外测温仪的供电电源上要有所考虑。在信号线上，也要采取屏蔽和良好接地的措施。